제일모직과 캐보트 마이크로일렉트로닉스(이하 캐보트)의 반도체 웨이퍼 연마제 ‘슬러리(Slurry)’ 특허 분쟁이 대법원까지 갔다.

캐보트 한국지사는 최근 서울고등법원의 특허침해 소송 기각 판결에 대해 대법원에 상고했다고 밝혔다.

서울고등법원은 지난달 제일모직의 제품이 반도체 기판 제조기술 분야의 자유 기술에 해당한다는 취지로 캐보트의 특허침해 소송을 기각한 바 있다. 이번에 캐보트가 대법원에 상고함으로써 특허침해 논란과 소송전은 당분간 계속될 전망이다.

슬러리는 반도체 회로를 구성하기 위해 웨이퍼를 평탄하게 하는 재료로 반도체 고집적화의 핵심 소재 기술이다. 미국 캐보트를 비롯해 일본 히타치 등이 시장을 주도하고 있으며, 제일모직은 2003년 시장에 진입했다.

캐보트 관계자는 “서울고등법원의 판결은 제일모직이 캐보트의 한국 특허 중 하나를 침해하지 않았다고 판단한 것”이라며 “상고심에서는 자사에 유리하게 결론이 날 것”이라고 밝혔다. 고등법원이 캐보트 특허의 유효성 쟁점이 아닌 특허침해 쟁점만을 판단했으며, 대법원 판결에서는 번복될 가능성이 있다는 것이다.

이에 대해 제일모직 측은 캐보트의 상고에 대해 자세한 언급을 하지 않았지만, 고등법원의 판결이 대법원에서 번복될 가능성은 크지 않을 것이라고 전망했다.