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미국 롬앤드하스(R&H)가 SKC를 상대로 한 특허권침해소송에서 지난 9월 수원지방법원의 판결에 반발, 항소함에 따라 양자간 특허소송전이 2라운드에 접어들었다.
롬앤드하스는 1일 SKC가 제조한 CMP((화학 기계적 연마) 패드에 대한 수원지방법원의 결정에 반발, 서울고등법원에 항소했다고 밝혔다.
롬앤드하스는 지난 1월 SKC가 제조한 패드가 CMP 공정에 사용될 때 자사의 특허를 침해한다고 주장하면서 수원지방법원에 ‘특허권 침해금지 가처분 명령’을 신청했으며, 이에 대해 수원지방법원은 9월에 SKC의 승소 판결을 내렸다.
SKC는 반도체 웨이퍼의 표면을 평탄하게 만드는 CMP 패드를 신규 사업으로 적극 육성하고 있다.
SKC는 반도체 웨이퍼를 평탄화하는 공정에 사용되는 CMP 패드를 수년간의 연구개발 끝에 국산화에 성공했으며, 지난해부터 삼성전자에 납품하고 있다. 또한 현재 국내 및 미국 등을 포함한 해외에 CMP 패드 관련 다수의 특허를 등록 또는 출원 중에 있다.
SKC는 롬앤드하스의 가처분신청에 대응해 3월23일 특허청에 특허무효심판 및 권리범위확인심판을 제기했으며 현재 진행중이다.
SKC관계자는 "롬앤드하스가 항소하는 것은 이미 예견된 일"이라며 "수원지방법원이 지난 9월 SKC의 제품 및 기술에 대한 창조성과 진보성을 인정한 만큼 서울고등법원에서도 같은 결과가 나올 것으로 확신한다"고 말했다.
한편, CMP 패드 세계시장 규모는 2500억~3000억원 규모(국내는 300억원 규모)이며, 2007년에는 6000억원으로 예상된다. 현재 롬앤드하스는 세계시장의 95%를 점유하고 있다.
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